La estructura y el principio de funcionamiento de la máquina de grabado por plasma.

Los componentes de una máquina de grabado por plasma generalmente incluyen un generador de plasma (el método de excitación por RF se usa comúnmente en la industria), una cámara de vacío y electrodos.

El principio de funcionamiento es utilizar radicales en el plasma para bombardear o pulverizar las moléculas de la superficie del material grabado para formar sustancias volátiles, logrando así el propósito del grabado. También hay algunas máquinas de grabado por plasma que utilizan tecnología de grabado de iones reactivos (Reactive Ion Etching).