¿Qué es la pulverización catódica con magnetrón?

Principio de la pulverización catódica con magnetrón:

Utiliza partículas de alta energía (normalmente iones positivos acelerados por un campo eléctrico) para bombardear la superficie sólida. Los átomos y moléculas de la superficie sólida intercambian cinética. energía con las partículas de alta energía incidentes. El fenómeno que se detecta al volar desde la superficie sólida se llama pulverización catódica.

Los átomos (o grupos atómicos) pulverizados tienen una cierta cantidad de energía y pueden volver a depositarse y condensarse en la superficie del sustrato sólido para formar una película delgada, lo que se denomina recubrimiento de temporización. Descarga de gas para generar ionización de gas, sus iones positivos bombardean el objetivo del cátodo a alta velocidad bajo la acción del campo eléctrico, eliminando los átomos o moléculas del objetivo del cátodo, haciendo que vuelen a la superficie del sustrato recubierto para depositarse. una película conductora de metales no ferrosos.