Introducción a los giroscopios micromecánicos
Micro-mechanical MEMS es la abreviatura del inglés Micro-Electro Mechanical Systems, es decir, sistemas mecánicos microelectrónicos. La tecnología de sistemas mecánicos microelectrónicos (MEMS) es una tecnología de vanguardia del siglo XXI basada en micro/nanotecnología, que se refiere a la tecnología de diseño, procesamiento, fabricación, medición y control de micro/nanomateriales. Puede integrar componentes mecánicos, sistemas ópticos, componentes de conducción y sistemas de control electrónico en un microsistema de unidad integral. Este sistema microelectromecánico no sólo puede recoger, procesar y enviar información o instrucciones, sino que también puede actuar de forma autónoma o siguiendo instrucciones externas en función de la información obtenida. Utiliza un proceso de fabricación que combina tecnología microelectrónica y tecnología de micromecanizado (incluido el micromecanizado del cuerpo de silicio, el micromecanizado de superficies de silicio, tecnologías LIGA y de unión de obleas) para crear una variedad de sensores con excelente rendimiento, bajo precio y miniaturización. Los sistemas microelectromecánicos (MEMS) son una nueva tecnología multidisciplinaria desarrollada en los últimos años. Esta tecnología tendrá un impacto revolucionario en la vida humana en el futuro. Involucra mecánica, electrónica, química, física, óptica, biología, materiales y otras disciplinas. 2. Principio de funcionamiento del giroscopio MEMS El giroscopio tradicional utiliza principalmente el principio de conservación del momento angular, por lo que es principalmente un objeto giratorio y la dirección de su eje no cambia con la rotación del soporte que lo lleva.